根据环境保护部“环境影响评价公众参与暂行办法”(环发2006 [28号])的规定,现将北京双仪微电子科技有限公司砷化镓单片微波集成电路研发及产业化项目环评工作情况进行第二次公示。
1、建设项目情况简述
建设单位:北京双仪微电子科技有限公司
项目名称:砷化镓单片微波集成电路研发及产业化项目
建设性质:新建
建设地点:北京经济技术开发区路东区B15M1地块
投资总额:100,000万元。
用地面积:租赁北京燕东微电子科技有限公司的部分厂房和场地进行建设。
建设内容与生产规模:租赁位于北京经济技术开发区路东区B15M1地块的北京燕东微电子科技有限公司的部分厂房和场地并依托其相关公用辅助和环保设施,新建砷化镓单片微波集成电路生产线1条,配套建设废气处理系统和含砷废水处理系统等环保设施,项目建成后形成月产20000片6吋砷化镓单片微波集成电路的生产能力。
由于砷化镓器件的工艺制造过程比硅器件困难许多,到目前为止,国内仍没有一家成熟的公司可以生产砷化镓MMIC芯片,手机生产厂商所需的砷化镓MMIC芯片全部依赖进口,对我国的半导体产业和通讯产业造成了巨大的隐患。项目的最终目标是建设成为全球名列前茅的微波集成电路(MMIC)供货商,满足国内市场对砷化镓MMIC芯片的迫切需求,扭转国内砷化镓MMIC芯片完全依赖进口的不利局面。
双仪微电子秉承环保优先的原则,使用最先进的污染物处理设施,对砷化镓中含有的砷成分进行深度处理,确保废水废气以最低标准排放,最大程度减少对环境可能产生的污染。
劳动定员:本项目劳动定员1169人,其中管理人员94人、工程人员163人、生产人员912人。
工作制度:四班两运转,每班12小时,日运行24小时,年运转360天。管理人员单班制,每班8小时。
2、建设项目对环境可能造成影响的概述
一、施工期
本项目租赁北京燕东微电子科技有限公司的部分厂房和场地进行建设,施工内容主要为相关工艺制程和污染防治设备的安装调试,同时配套建设含砷废水处理系统等环保设施。施工过程中将产生噪声、废气、固体废弃物、少量施工废水和生活污水等污染物。施工期产生的环境污染和环境影响随着项目的竣工而结束。
本项目施工内容简单,施工周期短,污染轻,不会对环境造成显著影响。
二、营运期
(1)地表水环境影响评价
废水排放影响分析结果表明:本拟建项目的废水无论从水量、水质还是排污污管道等角度分析,均可排入路东污水处理厂进行深度处理。路东污水处理厂处理后水质可达到北京市地方标准《城镇污水处理厂水污染物排放标准》DB11 890-2012中的B等级标准,大大减少了废水污染物入河量,其水质优于目前凉水河背景水质。再加之通过凉水河综合整治后凉水河水质有逐步改善,故拟建项目的废水经路东污水处理厂处理后再排放,不会对最终受纳水体--凉水河造成明显的影响。
(2)地下水环境影响评价
项目可靠的防渗工程能够杜绝项目化学品储存、废水排放、危险废物暂存等污染隐患对地下水和土壤的污染,不会对项目所在地的地下水和土壤环境造成影响,更不会改变当地地下水和土壤的环境功能。
(3)大气环境影响评价
本项目有组织排放的大气污染物经处理后均能达标排放,对外环境影响较小,不会改变项目所在区域的大气环境功能。
(4)声环境影响评价
项目厂界均能达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-2008)3类标准要求,厂界外200m范围内无环境敏感保护目标,本项目噪声对周围环境的影响很小。
(5)固体废物影响分析
本项目对产生的固体废物采取的处置措施安全有效,不会对周围环境产生二次污染。
(6)环境风险分析
项目风险防范措施可行;在严格落实环境风险防范措施、应急预案等提出的相关要求的条件下,可以将风险降到最低限度,项目的环境风险水平是可以接受的。
3、环境影响对策和措施要点
1、废水
本项目自建含金废水处理系统处理含金废水、含砷废水处理系统处理含砷废水,其他废水依托燕东既有含氟废水处理系统、含氨废水处理系统、有机废水处理系统和酸碱废水处理系统进行处理。外排废水达到北京市地方标准《水污染物综合排放标准》(DB11/307-2013)中“排入公共污水处理系统的水污染物排放限值”后,由公司废水总排口进入市政污水管网,经高新西区污水处理厂处理达《城镇污水处理厂污染物排放标准》(GB 18918-2002)中一级A标后排入凉水河。
2、废气
本项目废气包括一般废气、酸性废气(含工艺尾气)、碱性废气、有机废气四大类。
(1)一般废气:主要包括晶圆水洗后氮保护烘干废气、PVD溅射废氮氩保护气,此类废气无有害污染物,经车间车间通风换气设施直接外排即可。
(2)酸性废气(含工艺尾气):工艺尾气经POU装置等离子燃烧水洗后与湿法蚀刻酸性废气一并进入中央酸性废气碱洗塔处理后经35米高排气筒排放,主要污染物砷及其化合物、氟化物、氯、氯化氢、二氧化硫、氮氧化物、颗粒物能够达到北京市地方标准《大气污染物综合排放标准》(DB11/501-2017)表1标准。。
(3)碱性废气:本项目碱性废气主要为氨水挥发的氨气,经碱性废气酸液喷淋处理后通过35米高排气筒排放,主要污染物氨能够达到北京市地方标准《大气污染物综合排放标准》(DB11/501-2017)表1标准。
(4)有机废气:本项目有机废气中NMP经冷凝处理后与其他挥发性有机物一并进入沸石转轮浓缩焚烧系统处理后通过35米高排放,主要污染物二氧化硫、氮氧化物、颗粒物、非甲烷总烃能够达到北京市地方标准《大气污染物综合排放标准》(DB11/501-2017)表1标准。
项目各工艺过程均在机台内部进行,废气通过机台排气口接排气管道排放,工艺过程不存在无组织排放。
通过以上措施,项目产生的废气均能做到达标排放,最大限度的减轻项目废气无组织排放对周围环境造成的影响。
3、噪声
项目通过选用低噪声设备,采取隔声、吸声、减振及配套的管理等有效的降噪措施后,项目厂界噪声均能达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-2008)3类标准。
4、固体废物
项目废物处置遵循“减量化、无害化、资源化”的原则;一般废物中废金属靶材返回供应商回收利用、废蓝膜、废胶带、废离型膜、废蓝宝石、不沾染污染物的废纸塑包装材料由环卫部门统一清运,含氟废水处理污泥(主要成分氟化钙)由燕东外送资源化利用。废IPA、废丙酮、废NMP剥离液、废EKC光刻胶去除剂、废光阻液、废AZ7030去边胶液、废液态电子树脂(含有机溶剂)、电镀废液、金蚀刻退镀废液、废含金离子交换树脂、含砷烟尘、含砷滤料、含砷废水处理污泥、废砷化镓晶圆等危险废物拟送有资质单位进行处理。 。
项目产生的固体废物去向明确,均能得到妥善处置。
5.环境风险
为防范环境风险,项目配置风险防范设施,配备应急人员,制定应急预案,积极对员工进行宣传教育,严格执行安全操作规程,提高风险防范意识、组织员工和群众进行事故应急演练。通过上述措施,环境风险能够得到有效防范。
4、环境影响报告书提出的环境影响评价结论的要点
(1)、本项目建设符合国家产业政策,符合地方规划及环境功能规划,符合清洁生产要求。
(2)、本项目对其生产过程中产生的污染物采取了有效的防治措施,做到达标排放;采取风险防范措施后,环境风险可接受。
(3)、本项目建成后不改变地区环境质量现状。
5、查阅环境影响报告书简本及索取补充信息的方式和期限
公众如想进一步了解项目和环境影响评价的内容,可向建设单位或其委托的环境影响评价机构索取环境影响报告书简本和其他相关补充信息,时间自本项目公示之日起10个工作日内,通过电话、电子邮件及写信的方式联系。联系方式详见后文。
6、征求公众意见的主要事项
(1)、您认为本项目建设是否有必要?
(2)、从环保角度出发,您对该项目的建设持何种态度?
(3)、您认为该项目运行中,建设方应该加强哪方面的管理?
(4)、您对环保部门审批该项目有何建议和要求?
7、征求公众意见的具体形式
通过电话、电子邮件及写信等方式与项目建设方及评价方联系。
(1)、建设单位
单位名称:北京双仪微电子科技有限公司
通讯地址:北京经济技术开发区科创七街29号E3栋三楼
邮政编码:101111
联 系 人:程先生
电话:010-67881840-8040
(2)、评价单位
单位名称:信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司
通讯地址:四川省成都市双林路251号
邮政编码:610021
联 系 人:魏先生
电 话:028-84372118
传 真:028-84380136
电子邮件:weiw@edri.cn
附:公司营业执照&环境影响报告书简本